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       申请号：201610517763.2
       申请日：2016-07-01
       申请人： 大连理工常州研究院有限公司
       地址： 213164 江苏省常州市武进区常武中路801号常州科教城大连理工大学常州研究院A座201室
       发明(设计)人： 张振宇 史智丰 黄思玲 郭梁超 王博 董艳艳
       主分类号： B24B37/00(2012.01)I
       分类号： B24B37/00(2012.01)I B24B37/34(2012.01)I B24B29/02(2006.01)I C09G1/18(2006.01)I C09K3/14(2006.01)I
       摘要：本发明公开了钛合金研磨及化学机械抛光方法，属于金属合金的超精密加工技术领域。固结磨料研磨时，26和16μm的氧化铝防水砂纸的研磨时间为4-6min，10和4μm的氧化铝防水砂纸的研磨时间为14-20min。研磨时，研磨盘和工件的转速为50-80rpm，加载方式为配重块或者砝码，研磨压力为22-30kPa。化学机械抛光时，抛光垫为黑色绒毛抛光垫，抛光压力为65-80kPa，抛光盘和工件的转速为65-85rpm，抛光时间为14-20min，抛光液含有硅溶胶、氧化剂、络合剂和去离子水，氧化剂为双氧水，络合剂为苹果酸或者柠檬酸。硅溶胶磨料的重量百分比为18-25％，双氧水的重量百分比为40-50％，双氧水在抛光液中的重量百分比为4-6％，抛光液的pH值为4.2-4.8，实现了钛合金超精密抛光方法。
       主权项：钛合金研磨及化学机械抛光方法，包括以下步骤：步骤S100：固结磨料研磨，研磨液为去离子水，依次选用的氧化铝砂纸磨料尺寸为26μm、16μm、10μm和4μm；研磨时，研磨盘和工件的转速为50-80rpm，加载方式为配重块或者砝码，研磨压力为22-30kPa，更换不同磨粒尺寸的砂纸时，超声清洗钛合样品，并用气枪吹干；步骤S200：固结磨料研磨后，超声清洗钛合金样品，并用气枪吹干；步骤S300：化学机械抛光：抛光垫为黑色绒毛抛光垫，抛光压力为65-80kPa，抛光盘和工件的转速为65-85rpm，抛光时间为14-20min；抛光液含有硅溶胶、氧化剂、络合剂和去离子水，氧化剂为双氧水，络合剂为苹果酸或者柠檬酸；步骤S310：粗抛，络合剂为柠檬酸，硅溶胶的粒径为110-200nm，抛光完成后用超声清洗钛合金样品，用气枪吹干，更换新的黑色绒毛抛光垫；步骤S320：精抛，络合剂为苹果酸，硅溶胶的粒径为65-100nm；精抛后，超声清洗钛合金样品，用气枪吹干。