涂附磨具网

       申请号：201610168676.0
       申请日：2016-03-23
       申请人：大连理工大学
       地址：116024 辽宁省大连市甘井子区凌工路2号
       发明(设计)人：张振宇 王博 周平 康仁科 郭东明
       主分类号：B24B19/22(2006.01)I
       分类号：B24B19/22(2006.01)I B24B7/22(2006.01)I B24D18/00(2006.01)I B24D7/18(2006.01)I B24D3/28(2006.01)I B24D3/32(2006.01)I B24D3/34(2006.01)I
       摘要：一种纳米深度损伤层高效超精密磨削方法，属于脆性晶体超精密加工技术领域。其特征是砂轮由酚醛树脂作为结合剂，亚微米金刚石磨粒作为磨料，磨粒尺寸为300?980nm，氧化铈、氧化镁、氧化硅、氧化铝中的一种作为添加剂，添加剂的重量百分比<5％，碳酸钠和碳酸氢钠中的一种作为发泡剂，发泡剂的重量百分比<3％。结合剂、金刚石微粉、添加剂、发泡剂在常温下混合均匀，并压制成长方体，然后在180?250℃下热固化成型，热固化时间为1?3h。超精密磨削时主轴转速为2000?2400rpm，砂轮进给速率为3?15μm/min，工作台转速为80?200rpm，磨削液为去离子水。超精密磨削后工件达到亚纳米级表面粗糙度，纳米级损伤层深度。本发明的效果和益处是实现了纳米深度损伤层高效超精密磨削方法。
       主权项：一种纳米深度损伤层高效超精密磨削方法，采用树脂结合剂亚微米磨粒金刚石砂轮作为磨削工具，实现高效超精密磨削，其特征是：(1)工件为硅片、蓝宝石、光学玻璃；(2)砂轮由酚醛树脂作为结合剂，亚微米金刚石磨粒作为磨料，磨粒尺寸为300?980nm，氧化铈、氧化镁、氧化硅、氧化铝中的一种作为添加剂，添加剂的重量百分比<5％，碳酸钠和碳酸氢钠中的一种作为发泡剂，发泡剂的重量百分比<3％；(3)结合剂、金刚石微粉、添加剂、发泡剂在常温下混合均匀，并压制成长方体，然后在180?250℃下热固化成型，热固化时间为1?3h；(4)热固化成型的长方体用高强度胶粘接于铝合金骨架的沟槽中，均布于铝合金骨架的圆周，制成杯形金刚石砂轮；(5)杯形金刚石砂轮安装于超精密磨床上，进行超精密磨削，主轴转速为2000?2400rpm，砂轮进给速率为3?15μm/min，工作台转速为80?200rpm，磨削液为去离子水；(6)超精密磨削后工件达到亚纳米级表面粗糙度，纳米级损伤层深度，表面粗糙度Ra<1nm，PV值<10nm，亚表面损伤层深度为30?50nm；(7)硅片为工件时，超精密磨削后获得仅含非晶损伤层的超低损伤表面。