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       申请号: 201510690367.5
       申请日: 2015.10.22
       国家/省市: 中国江苏(32)
       公开号: 105269450A
       公开日: 2016.01.27
       主分类号: B24B 37/04(2012.01)
       分类号: B24B 37/04(2012.01); B24B 37/10(2012.01)
       申请人: 盐城工学院
       发明人: 黄传锦; 周海; 顾斌; 刘道标; 吴进; 惠学芹; 徐晓明
       代理人: 张华蒙
       代理机构: 32204
       申请人地址: 江苏省盐城市希望大道中路1号

       摘要： 本发明公开了氧化镓衬底的超精密加工方法，属于半导体原件加工技术领域，包括如下步骤：1)切片；将氧化镓晶体切片，获得氧化镓晶体衬底基片毛坯；2)研磨；3)抛光；粗抛光：使用丝绸作为抛光垫，对研磨后的氧化镓晶体衬底进行粗抛光，得到粗抛光后的氧化镓晶体衬底；精抛光：使用丝绸作为抛光垫，对粗抛光后的氧化镓晶体衬底进行精抛光，得到精抛光后的氧化镓晶体衬底；其中，抛光助剂为金刚石抛光膏；4)清洗；本发明具备以下优点：(1)绿色加工，环境友好：本发明的使用的抛光膏和丝绸都属于绿色无污染的耗材，丝毫不会对环境产生任何压力；(2)低成本加工：本发明的方法使用的耗材属于低成本物资；(3)简化加工步骤。

       主权利要求 1.氧化镓衬底的超精密加工方法，其特征在于：包括如下步骤：1)切片将氧化镓晶体切片，获得氧化镓晶体衬底基片毛坯；2)研磨使用砂纸作为研磨垫，研磨助剂为去离子水，对氧化镓晶体衬底基片毛坯进行粗研磨，得到研磨后的氧化镓晶体衬底；3)抛光粗抛光：使用丝绸作为抛光垫，对研磨后的氧化镓晶体衬底进行粗抛光，得到粗抛光后的氧化镓晶体衬底；精抛光：使用丝绸作为抛光垫，对粗抛光后的氧化镓晶体衬底进行精抛光，得到精抛光后的氧化镓晶体衬底；其中，抛光助剂为金刚石抛光膏；4)清洗将精抛光后的氧化镓晶体衬底加工后清洗封装。